MX7M Cold Cathode Features and Benefits:
- Highly contamination resistant cold cathode gauge design
- 낮은 가스로 이어지는 모든 금속 씰
- 컴팩트한 디자인
- 컬러 OLED 디스플레이
- 구성 가능한 0 ~ 10 V 아날로그 출력
- 공정 제어를 위한 포인트 릴레이 및 개방형 커넥터 설정
- RS-485 및 USB 통신 표준
- MX 액티브 게이지 EIP 게이트웨이를 통해 제공되는 이더넷IP 통신
- 센서 수명을 연장하기 위해 쉽게 세척할 수 있는 이온화 게이지
- ISO 17025 인증 및 NIST 추적 가능 보정(옵션)
- 교정 및 서비스를 위한 신속한 턴-어라운드
The new Televac® MX7M Cold Cathode is an active vacuum gauge (also called an analog vacuum gauge or a digital vacuum gauge) featuring the new Televac® 7M cold cathode ionization gauge, which has a wide operating range of 5*10-11 to 1*10-2 Torr (if you want to convert this to another unit of measurement check out our handy unit converter). This is the only cleanable cold cathode on the market which measures into the 10-11 Torr range. The new triple inverted magnetron design improves the overall accuracy of the vacuum gauge by improving linearity while significantly decreasing the stray magnetic field.
이 진공 게이지는 전체 금속 씰이 있어 전체적인 컴팩트한 디자인을 유지하면서 가스 방출을 최소화합니다. MX7M 냉음극 게이지는 구성 가능한 0~10V DC 아날로그 출력, RS-485 통신(이더넷IP 옵션), 프로그래밍 가능한 설정 포인트 2개(릴레이 및 오픈 콜렉터), 180° 시야각의 밝은 OLED 디스플레이 등 다양한 기능도 제공합니다.
All features of the MX7M Cold Cathode gauge are accessible through the display and touch controls or through the digital communications. Note that we also have an EthernetIP gateway for this active gauge which enables EthernetIP communication with a Rockwell Automation® Allen-Bradley® PLC. Combining this cold cathode gauge with a rough vacuum gauge such as the MX2A thermocouple active vacuum gauge or MX4A convection active vacuum gauge will provide full range measurement from 5*10-11 Torr to 1000 Torr (slightly above atmosphere).
MX7M 콜드 캐터드 액티브 진공 게이지
D-Sub 15, 15 컨덕터 케이블(플라잉 리드)
D-Sub 15, 6 컨덕터 케이블(플라잉 리드)
벽 전원 공급 장치
교체용 센서 및 부품
운영 범위 | 5*10-11 토르 ~ 1*10-2 토르 |
표시 | OLED |
디지털 커뮤니케이션 | RS-485, USB (마이크로) |
아날로그 출력 | 구성 가능한 0 ~ 10 V DC |
프로그래밍 가능한 집합 점 | 2 |
세트 포인트 1 | 컬렉터 열기 |
세트 포인트 2 | 릴레이 |
공급 전압 | 22V DC ~ 26V DC |
최대 전력 | 8 W |
교정 매체 | 건조한 공기 또는 질소 |
압 | 150 PSI |
디지털 출력 해상도 | 지수가 있는 3자리 |
아날로그 출력 해상도 | 16 비트 |
작동 온도 | 0°C ~ 50°C |
보관 온도 | -20°C ~ 60°C |
베이크 아웃 온도 (전자 장치 제거) |
250 °C |
응답 시간 | ≤50ms |
판독 가능한 거리 표시 | 3m(10피트) |
정확도 | |
1*10-9에서 1*10-3 Torr | ±30% 판독 |
아날로그 출력 | ±10mV |
핀 | 설명 |
1 | 아날로그 출력(접지) |
2 | RS-485 A(-) |
3 | SP2 NC |
4 | SP2 NO |
5 | SP1 오픈 드레인 |
6 | 연결하지 않음 |
7 | 연결하지 않음 |
8 | 공급 전압(+) |
9 | 아날로그 출력(0~10) V |
10 | RS-485 B(+) |
11 | SP2 Com |
12 | SP1 소스 |
13 | 센서 전압 제어(접지) |
14 | 센서 전압 제어(+) |
15 | 공급 전압(접지) |

MX7M에는 두 개의 설정 포인트가 있습니다. 설정 포인트 1은 N-채널 60V MOSFET 오픈 콜렉터입니다. 최대 정격 전류는 1A이며 데이터시트는 www.vishay.com/en/product/69958 에서 확인할 수 있습니다 .
설정값 2는 최대 스위칭 전압이 220V DC(250V AC)이고 최대 스위칭 전류가 2A인 계전기입니다. 데이터시트는 www.te.com/catalog/pn/en/1393788-3 에서 확인할 수 있습니다 .
스테인리스 스틸 |
알루미나 세라믹 |
몰 리브 덴 |
코바르 (주) |
Ag-Cu 브레이징 합금 |
구리 |
주택 | 알루미늄 |
센서가 있는 무게 | 1 kg (2 파운드) |
센서가 없는 무게 | 0.3 kg (0.6 파운드) |

UL 61010-1 인증 |
CAN/CSA C22.2 61010-1-12 인증 획득 |
EN 61010-1, EN 61236-1, EN 55011에 따라 CE 인증 획득 |
RoHS 준수 |
IP40 |
EAC 인증 |
ISO 17025 공인 보정 옵션 |
NIST 추적 가능한 교정 옵션 |
제품 설명서
MX7M 데이터 시트 |
MX7M 사용 설명서 |
Televac® 진공 보정 공차 |
3D 모델(STEP 파일)
2-8950-CF40 - MX7M NW40/KF40 스테인리스 스틸 |
응용 프로그램 노트
동영상
MX7M 분해 비디오 |
도구
Vacuum Leak Rate Converter |
진공 측정 컨버터 |
웹 직렬 터미널 |
기사
최신 냉음극 기술을 사용한 진공 측정 |
브로셔
Televac® Vacuum Measurement Product Catalog |
MX7M의 장점 및 기능 브로셔 |
MX7M 저온 음극 활성 진공
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