당사의 1F 압전 다이어프램 게이지(진공 압력 게이지, 진공 트랜스듀서 또는 진공 센서라고도 함)는 압전 다이어프램 설계로 인해 빠르고 견고하며 오염에 강하고 고정밀 저진공 압력 게이지입니다. 열전대 게이지 설계가 있는 2A 및 4A 진공 게이지와 비교하여 1F 압전 다이어프램 진공 센서 설계는 가스와 무관하며 모든 방향에 장착할 수 있습니다.
1F 압전 다이어프램 진공 센서는 10 Torr (10,000 미크론)에서 10,000 Torr (10,000,000 미크론, 대기권 이상)까지 판독합니다. 또한 해당 범위에서 우수한 정확도를 가지며 MX200 진공 컨트롤러와 함께 사용하면 이 진공 게이지의 작동 범위에서 ±5% ~ ±10%의 정확도를 제공합니다.
작동 사양
운영 범위 | 10 Torr to 10000 Torr |
아날로그 출력 | Controller-dependent |
아날로그 출력 해상도 | Controller-dependent |
장착 방향 | Any |
교정 매체 | 건조한 공기 또는 질소 |
공급 전류 | 1.5 mA |
전체 스케일 출력 | 75mV ~ 150mV |
0 압력 출력 | >2mV |
압 | 200 PSI |
비선형성 | ±0.05 % to ±0.10 % |
히스테리시스 | ±0.01 % to ±0.05 % |
인/아웃 저항 | 2.5 K ~ 6.0 K Ω |
온도 오류 범위 | ±0.3 % to ±0.5 % |
온도 오류 제로 | ±0.1 % to ±0.5 % |
온도 히스테리스 스팬 | ±0.1 % |
온도 히스테리시스 제로 | ±0.1 % |
응답 시간 | ≤ 100 ms |
출력 부하 저항 | 50 M Ω |
압력 과부하(등급) | 최대 3배 |
작동 온도 | 0°C ~ 50°C |
보관 온도 | -40°C ~ 85°C |
최대 베이킹아웃 온도 | 120 °C |
가속 | 최대 50g |
충격 | 1000 g peak for 0.05 ms |
진동 | 10Hz ~ 2000Hz에서 20g 피크 |
미디어 | 부식성 가스 |
정확도 | |
10 ~ 100 토르 | ±10 Torr |
100 to 1000 Torr | ±10% 판독 |
아날로그 출력 | ±10mV |
물리적 특성
전기 연결 | Octal male |
Weight (Typical) | 126 g (0.28 lbs) |
차원 | See datasheet |