Televac® Vacuum Calibration Tolerances

Employee calibrating Televac®️ vacuum measurement equipment.
데이터 시트 다운로드

공차와 정확도 사양 및 진공 테스트 포인트

Download
Calibration Tolerances

설명

All values are in Torr unless otherwise stated and FS denotes the full scale or maximum reading of the CDG. Televac® reserves the right to change tolerances for any controllers, active gauges, or sensors. Any modification to any unit without approval from Televac® voids the unit’s certificate of compliance. Additional NIST Calibration Test Points are available upon request.

Select Vacuum Gauge

MX200 MM200 MC300 MV2A 컴팩트 2A 바쿠가드™ B2A 휴대용 액티브 게이지
2A 2A 2A 2A 2A 2A 2A MX2A
2A 바쿠미니 2A 바쿠미니 2A 바쿠미니 2A 바쿠미니 2A 바쿠미니 2A 바쿠미니 2A 바쿠미니 MX4A
2A NASA 미니 2A NASA 미니 2A NASA 미니 2A NASA 미니 2A NASA 미니 2A NASA 미니 2A NASA 미니 MX7B
4A 4A 4A MX7M
1E 1E 7B CC-10
7B 7B 7E MP2AR
7E 7E 7F MP3DR
7F 7F 7FC MP4AR
7FC 7FC 3F Mini MP7ER
7FCS 7FCS MP7FR
CDG 3F Mini
CDG

적용 가능한 게이지

  • MX200 – 2A Thermocouple, 2A VacuMini, or 2A NASA Mini
  • MM200 – 2A Thermocouple, 2A VacuMini, or 2A NASA Mini
  • MC300 – 2A Thermocouple, 2A VacuMini, or 2A NASA Mini
  • MV2A – 2A Thermocouple, 2A VacuMini, or 2A NASA Mini
  • Compact 2A – 2A Thermocouple, 2A VacuMini, or 2A NASA Mini
  • Vacuguard™ – 2A Thermocouple, 2A VacuMini, or 2A NASA Mini
  • B2A Portable – 2A Thermocouple, 2A VacuMini, or 2A NASA Mini
  • MP2AR Thermocouple Active Gauge
정확도 사양
범위 공차
1.0E-3 ~ 1.0E-2 ±1.0E-3
1.0E-2 ~ 1.0E-1 ±10%
1.0E-1 ~ 1.0E+0 ±20%
공차가 있는 표준 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
0.0E+0 -1.0E-3 1.0E-3
1.0E-1 9.0E-2 1.1E-1
1.0E+0 8.0E-1 1.2E+0
공차가 있는 NIST 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
0.0E+0 -1.0E-3 1.0E-3
1.0E-2 9.0E-3 1.1E-2
2.0E-2 1.8E-2 2.2E-2
5.0E-2 4.5E-2 5.5E-2
1.0E-1 9.0E-2 1.1E-1
2.0E-1 1.6E-1 2.4E-1
5.0E-1 4.0E-1 6.0E-1
1.0E+0 8.0E-1 1.2E+0
GE 항공 사양 P10TF3 호환 교정

The 2A Thermocouple Vacuum Gauge in combination with any of the controllers above can be calibrated to the GE Aviation Specification P10TF3.

테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
0.0E+0 -1.0E-3 1.0E-3
1.0E-2 9.0E-3 1.1E-2
2.0E-2 1.8E-2 2.2E-2
5.0E-2 4.5E-2 5.5E-2
1.0E-1 9.0E-2 1.1E-1
2.0E-1 1.7E-1 2.3E-1
5.0E-1 4.3E-1 5.8E-1
1.0E+0 8.5E-1 1.2E+0

적용 가능한 게이지

  • MX2A 써모커플 액티브 게이지
정확도 사양
범위 공차
1.0E-3 ~ 1.0E-2 ±1.0E-3
1.0E-2 ~ 1.0E+1 ±10%
1.0E+0 ~ 1.0E+2 ±30%
1.0E+2 ~ 1.0E+3 ±10%
공차가 있는 표준 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
0.0E+0 -1.0E-3 1.0E-3
1.0E-1 9.0E-2 1.1E-1
1.0E+0 9.0E-1 1.1E+0
공차가 있는 NIST 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
0.0E+0 -1.0E-3 1.0E-3
1.0E-2 9.0E-3 1.1E-2
2.0E-2 1.8E-2 2.2E-2
5.0E-2 4.5E-2 5.5E-2
1.0E-1 9.0E-2 1.1E-1
2.0E-1 1.8E-1 2.2E-1
5.0E-1 4.5E-1 5.5E-1
1.0E+0 9.0E-1 1.1E+0

적용 가능한 게이지

  • MX200 – 4A Convection
  • MX4A 대류 액티브 게이지
정확도 사양
범위 공차
1.0E-3 ~ 1.0E-2 ±1.0E-3
1.0E-2 ~ 1.0E+3 ±10%
공차가 있는 표준 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
0.0E+0 -1.0E-3 1.0E-3
1.0E+0 9.0E-1 1.1E+0
7.6E+2 6.8E+2 8.4E+2
공차가 있는 NIST 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
0.0E+0 -1.0E-3 1.0E-3
1.0E-2 9.0E-3 1.1E-2
5.0E-2 4.5E-2 5.5E-2
1.0E-1 9.0E-2 1.1E-1
5.0E-1 4.5E-1 5.5E-1
1.0E+0 9.0E-1 1.1E+0
1.0E+1 9.0E+0 1.1E+1
1.0E+2 9.0E+1 1.1E+2
7.6E+2 6.8E+2 8.4E+2

적용 가능한 게이지

  • MM200 – 4A Convection
  • MC300 – 4A Convection
  • MP4AR Convection Active Gauge
정확도 사양
범위 공차
1.0E-3 ~ 1.0E-2 ±1.0E-3
1.0E-2 ~ 1.0E+1 ±10%
1.0E+1 ~ 1.0E+2 ±20%
1.0E+2 ~ 1.0E+3 ±10%
공차가 있는 표준 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
0.0E+0 -1.0E-3 1.0E-3
1.0E+0 9.0E-1 1.1E-0
7.6E+2 6.8E+2 8.4E+2
공차가 있는 NIST 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
0.0E+0 -1.0E-3 1.0E-3
1.0E-2 9.0E-3 1.1E-2
5.0E-2 4.5E-2 5.5E-2
1.0E-1 9.0E-2 1.1E-1
5.0E-1 4.5E-1 5.5E-1
1.0E+0 9.0E-1 1.1E+0
1.0E+1 9.0E+0 1.1E+1
1.0E+2 8.0E+1 1.2E+2
7.6E+2 6.8E+2 8.4E+2

적용 가능한 게이지

  • MX200 – 1E Piezo Diaphragm
  • MM200 – 1E Piezo Diaphragm
정확도 사양
범위 공차
1.0E+0 ~ 1.0E+1 ±1.0E+0
1.0E+1 ~ 1.0E+2 ±10%
1.0E+2 ~ 1.0E+3 ±5%
공차가 있는 표준 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
5.0E+00 4.0E+0 6.0E+0
1.0E+2 9.0E+1 1.1E+2
7.6E+2 7.2E+2 8.0E+2
공차가 있는 NIST 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
5.0E+00 4.5E+0 5.5E+0
1.0E+2 9.0E+1 1.1E+2
4.0E+2 3.8E+2 4.2E+2
7.6E+2 7.2E+2 8.0E+2

적용 가능한 게이지

  • MX200 – 7B Cold Cathode
  • MM200 – 7B Cold Cathode
  • MC300 – 7B Cold Cathode
정확도 사양
범위 공차
1.0E-6 ~ 1.0E-3 ±.2 년 (-37% ~ 58%)
공차가 있는 표준 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
1.0E-5 6.0E-6 1.6E-5
1.0E-4 6.0E-5 1.6E-4
공차가 있는 NIST 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
1.0E-6 6.3E-7* 1.6E-6
5.0E-6 3.2E-6 8.0E-6
1.0E-5 6.3E-6 1.6E-5
5.0E-5 3.2E-5 8.0E-5
1.0E-4 6.3E-5 1.6E-4

*MM200 및 MC300에 대한 허용 오차는 6E-7입니다.

적용 가능한 게이지

  • MX7B 콜드 캐트호드 액티브 게이지
  • MX7M 콜드 캐트호드 액티브 게이지
정확도 사양
범위 공차
1.0E-7 ~ 1.0E-3 ±30%
공차가 있는 표준 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
1.0E-05 7.0E-06 1.3E-05
1.0E-04 7.0E-05 1.3E-04
공차가 있는 NIST 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
1.0E-06 7.0E-07 1.3E-06
5.0E-06 3.5E-06 6.5E-06
1.0E-05 7.0E-06 1.3E-05
5.0E-05 3.5E-05 6.5E-05
1.0E-04 7.0E-05 1.3E-04

적용 가능한 게이지

  • MX200 – 7E Cold Cathode
  • MM200 – 7E Cold Cathode
  • MC300 – 7E Cold Cathode
  • MP7ER Cold Cathode Active Gauge
정확도 사양
범위 공차
1.0E-7 ~ 1.0E-2 ±.2 년 (-37% ~ 58%)
공차가 있는 표준 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
1.0E-5 6.3E-6 1.6E-5
1.0E-4 6.3E-5 1.6E-4
공차가 있는 NIST 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
1.0E-6 6.3E-7 1.6E-6
5.0E-6 3.2E-6 8.0E-6
1.0E-5 6.3E-6 1.6E-5
5.0E-5 3.2E-5 8.0E-5
1.0E-4 6.3E-5 1.6E-4

적용 가능한 게이지

  • MX200 – 7F/7FC/7FCS Cold Cathodes
  • MM200 – 7F/7FC/7FCS Cold Cathodes
  • MC300 – 7F/7FC Cold Cathodes
  • MP7FR Cold Cathode Active Gauge
정확도 사양
범위 공차
1.0E-9 ~ 1.0E-2 ±.2 년 (-37% ~ 58%)
공차가 있는 표준 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
1.0E-5 6.3E-6 1.6E-5
1.0E-4 6.3E-5 1.6E-4
공차가 있는 NIST 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
1.0E-6 6.3E-7 1.6E-6
5.0E-6 3.2E-6 8.0E-6
1.0E-5 6.3E-6 1.6E-5
5.0E-5 3.2E-5 8.0E-5
1.0E-4 6.3E-5 1.6E-4

적용 가능한 게이지

  • MX200 – Capacitive Diaphragm Gauge (CDG)
  • MM200 – Capacitive Diaphragm Gauge (CDG)
정확도 사양
범위 공차
.01*FS에서 .1*FS까지 ±.001*FS
FS에 .1*FS ±2%
공차가 있는 표준 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
0.1*FS (0.1*FS)-2% (0.1*FS)+2%
0.5*FS (0.5*FS)-2% (0.5*FS)+2%
FS FS-2% FS+2%
공차가 있는 NIST 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
0.01*FS 0.01*FS-.001*FS 0.01*FS +.001*FS
0.1*FS (0.1*FS)-2% (0.1*FS)+2%
0.2*FS (0.2*FS)-2% (0.2*FS)+2%
0.3*FS (0.3*FS)-2% (0.3*FS)+2%
0.4*FS (0.4*FS)-2% (0.4*FS)+2%
0.5*FS (0.5*FS)-2% (0.5*FS)+2%
0.6*FS (0.6*FS)-2% (0.6*FS)+2%
0.7*FS (0.7*FS)-2% (0.7*FS)+2%
0.8*FS (0.8*FS)-2% (0.8*FS)+2%
0.9*FS (0.9*FS)-2% (0.9*FS)+2%
FS FS-2% FS+2%

적용 가능한 게이지

  • MM200 – 3F Mini BA
  • MC300 – 3F Mini BA
  • MP3DR Hot Ion Active Gauge
정확도 사양
범위 공차
1.0E-9 ~ 1.0E-2 ±.1 년 (-21% ~ 26%)
공차가 있는 표준 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
1.0E-05 7.9E-06 1.3E-05
1.0E-04 7.9E-05 1.3E-04
공차가 있는 NIST 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
1.0E-06 7.9E-07 1.3E-06
5.0E-06 4.0E-06 6.3E-06
1.0E-05 7.9E-06 1.3E-05
5.0E-05 4.0E-05 6.3E-05
1.0E-04 7.9E-05 1.3E-04

적용 가능한 게이지

  • CC-10 와이드 레인지 액티브 게이지
정확도 사양
범위 공차
1.0E-9 ~ 1.0E-1 ±.2 년 (-37% ~ 58%)
1.0E-1 ~ 2.0E+2 ±15%
2.0E+2 ~ 1.0E+3 ±5%
공차가 있는 표준 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
1.0E-05 6.0E-6 1.6E-5
1.0E+00 8.5E-1 1.2E+0
7.6E+02 7.2E+2 8.0E+2
공차가 있는 NIST 교정 포인트
테스트 포인트 낮은 공차 상부 허용 오차
1.0E-6 6.3E-7 1.6E-6
5.0E-6 3.2E-6 8.0E-6
1.0E-5 6.3E-6 1.6E-5
5.0E-5 3.2E-5 8.0E-5
1.0E-4 6.3E-5 1.6E-4
1.0E-3 6.3E-4 1.6E-3
1.0E-2 6.3E-3 1.6E-2
1.0E-1 8.5E-2 1.2E-1
1.0E+0 8.5E-1 1.2E+0
1.0E+1 8.5E+0 1.2E+1
1.0E+2 8.5E+1 1.2E+2
7.6E+2 7.2E+2 8.0E+2