박막 증착

박막은 나노미터(10~9미터)에서 마이크로미터(10~6미터)의 두께범위의 표면상으로 간주되며 진공 박막 코팅에 사용되는 두 가지 주요 방법이 있습니다. 첫 번째는 PVD 또는 물리적 증기 증착이고 두 번째는 CVD 또는 화학 증기 증착이다. PVD는 입자의 물리적 움직임을 수반하는 반면 CVD는 화학 반응을 수반합니다. 박막 증착에는 다른 유형과 하위 집합이 많지만 PVD및 CVD는 이 문서에서 설명하는 유일한 두 가지 유형입니다.

PVD에는 두 가지 기본 방법이 있습니다. 증발 및 스퍼터링. 증발 및 스퍼터링은 종종 진공 상태에서 수행되며, 압력이 감소함에 따라 (또는 시스템이 진공 에서 더 깊어짐), 증기 압력 (물질이 고체 / 액체에서 가스로 변하는 압력)이 감소하므로 낮은 온도를 사용할 수 있습니다. 이렇게 하면 코팅되는 물체에 고온이 미치는 부정적인 영향을 방지할 수 있습니다. 또한 PVD의 대기를 제거하면 증발된 재료가 코팅되는 오브젝트에 보다 직접적인 경로를 할 수 있습니다.

 

아래 차트 A와 차트 B에서 볼 수 있듯이 증발은 매우 간단합니다. 챔버는 대피하고 열이 적용되고 필름 재료가 물체에 증발됩니다. 스퍼터링은 진공 챔버와 코팅 재료 사이에 잠재적 차이가 적용되어 약간 더 복잡합니다. 아르곤과 같은 불활성 가스는 전기 방전을 유발하는 챔버에 첨가되어 코팅 물질을 물체에 분산시킵니다.

CVD 프로세스는 코팅되는 물체의 다른 재질과 반응하거나 분해하기 위해 하나의 재질을 사용하는 것을 포함합니다. 이것은 전형적으로 열에 의해 활성화됩니다, 그러나 또한 특정 경우에 촉매로 빛 또는 플라즈마를 사용할 수 있습니다. 이 때문에 CVD 프로세스는 훨씬 더 높은 온도에서 실행되는 경향이 있으며 코팅되는 개체에 따라 문제가 될 수 있습니다.

박막 증착은 다음과 같은 다양한 응용 분야가 있습니다.

반도체 제조, 태양 전지 패널, 배터리, 전기 적으로 작동하는 코팅, 장식 코팅, 광학 코팅 또는 보호 코팅과 같은 제품 마무리.

그렇다면 박막 증착에 유용한 Televac® 제품에는 어떤 것이 있을까요? 첫 번째는 4A/7B 진공 게이지 조합을 갖춘 MX200 진공 컨트롤러입니다. 이 제품은 대기압(1000 토르)에서 10-7 토르까지 진공 측정이 가능합니다. 센서는 케이블로 컨트롤러에 연결되어 원격 디스플레이가 가능하며 아날로그 0~10V DC, 이더넷IP, RS-232/RS-485 및 USB를 포함한 다양한 아날로그 및 디지털 통신 옵션을 사용할 수 있습니다.

또 다른 옵션은 활성 게이지를 사용하는 경로를 사용하는 것입니다. 액티브 게이지를 사용하면 제어 전자 장치가 감지 요소에 직접 장착되어 있으며,이 경우 적어도 두 개의 활성 게이지를 사용합니다. MX4A 열전대 진공 게이지는 대기(1000 Torr)에서10-3 토르까지 측정을 위한 진공 게이지, 10-3 Torr에서10-8 토르까지 측정을 위한 MX7B 냉음극 진공 게이지. 유사한 출력 옵션은 아날로그 0에서 10 V DC, 이더넷IP 및 RS-485에서 사용할 수 있습니다. 많은 액티브 게이지를 함께 연결할 수 있으며 다양한 게이지를 사용하여 이 문서에 설명된 것과 는 다른 범위의 측정 범위를 달성할 수 있습니다.

이 문서는 반도체 제조에박막 공정이 사용되기 때문에 반도체 제조에 대한 당사의 기사와 밀접한 관련이 있습니다.

제품

Modular vacuum controller that offers the full vacuum range of 1E-11 to 10,000 Torr

MX200 진공 컨트롤러

- 1*10-11 토르 ~ 1*104 토르
- 최대 10개의 Televac® 진공 게이지 제어
- 읽기 쉬운 OLED 디스플레이

4A 대류 진공 게이지 - 진공 트랜스듀서

4A 대류 진공 게이지

- 1*10-3 토르 ~ 1000 토르
- 밀리초 응답 시간
- 컴팩트하고 견고한 디자인

NW25/KF25 Stainless Steel 7B Penning Magnetron Cold Cathode Vacuum Gauge - Part Number: 2-2100-272

7B 페닝 그자론 콜드 캐터드 진공 게이지

• 1*10-7 토르 ~ 1*10-3 토르
• 견고하고 오염이 강한
• 분해 및 세척이 간편합니다.

MX4A 대류 액티브 디지털 진공 게이지

MX4A 대류 액티브 진공 게이지

• 1*10-4 토르 ~ 1000 토르
• 교체하기 쉬운 센서
• 오염 방지

MX7B 냉음극 액티브 진공 디지털 게이지

MX7B 콜드 캐트호드 액티브 진공 게이지

• 1*10-3 토르 ~ 1*10-8 토르
• 오염에 대한 견고하고 강한 내성
• 전자 제품에서 센서를 분리하는 간단
• 전체 메뉴 기능을 갖춘 멀티 컬러 OLED 디스플레이