Part Numbers: 2-2100-31, 2-7990-101, 2-7990-131, 2-7990-152
특징과 이점:
- 1*10-2 토르에서 1*10-10 토르까지의 조치
- 최대 수명을 위한 이중 코팅 및 지원 필라멘트
- Exceptionally low x-ray limit of < 1*10-10 Torr
- 필라멘트의 원 버튼 전자 선택
- CF형 씰 및10-11 std. cc/s 헬륨 누출 속도는 신뢰할 수 있는 UHV 작동을 보장합니다.
- 간단한 디자인은 가장 어려운 응용 프로그램에서 생산적인 사용의 문제없는 년을 의미
- 200 °C까지 굽을 수 있습니다 (센서 만)
- 4자리 LED
- 선택 가능한 배출 전류
- 시간 선택 가능한 드가
- 공정 제어를 위한 듀얼 TTL 세트 포인트
- RS-232/485 디지털 통신
- 11.5 V ~ 30 V DC 제어 인터페이스 전원 스위치
The Televac® MP3DR is a miniature Bayard-Alpert high-vacuum sensor and integral control electronics in a compact envelope. It is designed to be closely coupled to the user’s vacuum system and to provide a local pressure indication and/or digital interface to a computer control system. The MP3DR derives its performance strength from Televac®’s cutting-edge miniature Bayard-Alpert ionization sensor and user-friendly operation from its intuitive control and display interface.
| 측정 범위 | 1*10-2 토르 ~ 1*10-10 토르 |
| 질소에 대한 민감도 | 10/토르 |
| 드가 파워데가스 전력 | 5 W e-빔 |
| 베이크아웃 온도(센서만) | 200 °C |
| 작동 온도 | 0°C ~ 40°C |
| 엑스레이 제한 | < 1*10-10 Torr |
| 필라멘트 방출 전류 | 0.01 mA, 0.1 mA, 1.0 mA 또는 자동 |
| 필라멘트 바이어스 잠재력 | 30 V ± 0.3% |
| 그리드 잠재력 | 180 V ± 0.3% |
| 필라멘트 가열 전압 | 1.5 V (최대 2.5V) |
| 필라멘트 가열 전류 | 2 A (최대 3개) |
| 장착 방향 | Any |
| 제어 시스템 | |
| 전원 입력 | 11.5 V ~ 30 V DC @ 750 mA |
| 표시 | 세분화된 블루 그린 |
| 공정 제어 출력 | 각 TTL 2개 |
| 디지털 커뮤니케이션 | RS-232/485 |
| 전원/신호 커넥터 | 15핀 d-서브 |
| 디지털 포트 | 듀얼, 6핀 모듈식 |
| 물리적 데이터 | |
| 높이 | 5.25” |
| 직경 | 3.00” |
| 무게 | 19.5 온스 (KF25 플랜지) |
| 운영 환경 | |
| 위치 | 실내 |
| 구역 | ~2000m |
| 온도 | 0°C ~ 40°C |
| 상대 습도 | 80% RH ~ 31°C |
| 설치 | 카테고리 II |
| MP3DR 핫 이온 | 부품 번호 |
| KF25 플랜지 | 2-7990-131 |
| 2.75" CF 플랜지 | 2-2100-31 |
| 1/8" NPT 스테인리스 스틸 | 2-7990-152 |
| 1" 관 | 2-7990-101 |
