목적
This application note explains how the relay set point of an MP2AR or MP4AR rough vacuum active gauge can be used to automatically enable and disable an MX7B or MX7M cold cathode high vacuum active gauge.
관련 텔레바크® 제품
이 애플리케이션 노트는 아래 나열된 Televac® 제품에 적용됩니다.
| 설명 | 부품 번호 |
| MP2AR | 2-7910-XXX |
| MP4AR | 2-7930-XXX |
| MX7B | 2-8940-XXX |
| MX7M | 2-8950-XXX |
| MP2AR/MP4AR 9 컨덕터 케이블 | 2-9852-트리플 엑스 |
| MX7B/MX7M 6 컨덕터 케이블 | 2-9873-XXX |
| MX7B/MX7M 15 도체 케이블 | 2-9858-XXX |
배경
The Televac® MP2AR and MP4AR are thermal conductivity gauges for rough vacuum measurement (1*10-3 Torr to 20/760 Torr). The Televac MX7B and MX7M are cold cathode gauges for high and ultra high vacuum measurement (1*10-11/1*10-8 Torr to 1*10-2 Torr).
차가운 음극의 디자인으로 인해 1 *10-2 Torr 이상의 압력에서 켜지지 않는 것이 중요합니다. 더 높은 압력에서 차가운 음극을 돌리면 스퍼터링, 산화 및 오염으로 이어질 것입니다. 이로 인해 센서가 부정확한 판독값과 손상이 발생합니다. 따라서 MP2AR 또는 MP4AR과같은 거친 진공 게이지를 사용하여 1*10-2 Torr 이상의 압력에서 차가운 음극을 비활성화할 필요가 있습니다.
MP2AR과 MP4AR에는 릴레이 세트점이 모두 포함되며, 이는 본질적으로 특정 진공 판독값으로 설정할 수 있는 스위치입니다. 이 경우 설정 점은 1*10-2 Torr입니다. 릴레이는 차가운 음극의 전압 공급에 연결하여 고진공(10-11/10-8 Torr)에서 거친 진공(20/760 Torr)까지 측정할 수 있는 액티브 게이지 시스템을 생성할 수 있습니다.
Configuring the MP2AR/MP4AR Set Point
MP2AR 및 MP4AR에는 특정 진공 레벨을 읽을 때 신호를 출력하는 데 사용할 수 있는 릴레이 세트점이 있습니다. 이 신호는 필요할 때 차가운 음극을 켜는 데 사용할 수 있습니다. MX7B/MX7M을제어하려면 1 *10-2 Tor에서 켜는 것이 좋습니다. 이러한 사항은 권장 사항일 뿐입니다. 시스템에 다른 설정이 필요할 수 있습니다.
설정점에 대한 현재 설정은 MP2AR/MP4AR상단의 "설정점 표시" 버튼을 눌러 볼 수 있습니다. 이렇게 하면 디스플레이에 설정점 진공이 표시됩니다. 미크로른 LED는 1 Torr 이하의 압력에 대해 점등됩니다. 설정점 값을 표시하면서 디스플레이가 깜박입니다. 일반 작업으로 돌아가려면 "setpoint 표시" 버튼을 다시 누르거나 60초 정도 기다립니다.
설정점은 DB9 커넥터의 핀 9의 전압으로 읽을 수도 있습니다. 이러한 전압 값은 MP2AR/MP4AR매뉴얼에 기재된 방법을 사용하여 진공으로 변환될 수 있다.
MP2AR/MP4AR의설정점을 조정하려면 다음을 수행하십시오.
- 위에서 설명한 메서드 중 하나를 사용하여 집합점을 봅니다.
- "설정점 조정" 나사를 돌려 설정점 값을 변경합니다.
- 세트점을 10미크론으로 조정합니다.
MX7B/MX7M에서 핀 제어 활성화
MX7B/MX7M은 MP2AR/MP4AR로켜고 끌 수 있기 전에 핀 제어 모드로 넣어야합니다. 게이지를 핀 컨트롤 모드로 전환하려면 다음 단계를 따르십시오.
- 화면이 "시스템 설정"이라고 표시될 때까지 SEL을 누릅니다. 처음에 측정 화면에서 이 화면에 도달하기 위해 2번 눌러야 합니다.
- 화면에 Vsense 컨트롤이 표시될 때까지 SEL을 누릅니다. 이것은 4번째 설정이어야 합니다.
- 위쪽 및 아래쪽 화살표를 사용하여 핀 컨트롤로 설정합니다.
This can also be done with the RS-485 W8 command. The following command will set the unit to pin control mode. Note that X is the address of the unit (default 0) and <cr> is a carriage return (which is sent when the enter key is pressed).
*XW81<cr>
W8 명령에 대한 자세한 내용은 MX7B 및 MX7M 매뉴얼을 참조하십시오. 이제 MX7B/MX7M은 MP2AR/MP4AR의릴레이에 의해 제어 될 준비가되어 있습니다.
Connecting the MP2AR/MP4AR to the MX7B/MX7M
MX7B/MX7M의핀 컨트롤 토글핀 13 및 14에 따라 전환합니다. 그들이 단락되면, 차가운 음극이 켜집니다. 그렇지 않으면, 차가운 음극이 꺼질 것입니다.
MP2AR/MP4AR의릴레이는 압력이 셋포인트 위에 있을 때 핀 2와 6을 연결하고 압력이 설정점 아래에 있을 때 핀 1과 6을 연결합니다. 따라서 MX7B/MX7M에서13 및 14핀의 짧은 핀에 사용할 수있습니다. 다음 표 와 다이어그램은 릴레이가 MX7B/MX7M을제어 할 수있는 연결을 보여줍니다 :
| MP2AR/MP4AR | MX7B/MX7M |
| 핀 6 (릴레이 COM) | 핀 13 |
| 핀 1 (릴레이 번호) | 핀 14 |
MP2AR/MP4AR가1*10-2보다 낮은 압력을 감지하면 MX7B/MX7M은 이제차가운 음극을 켜집니다.
장치에 전원을 공급할 필요가 있습니다. 또한 응용 프로그램에 따라 아날로그 또는 RS-485 연결에 연결해야 할 수도 있습니다.
관련 제품
MP2AR Thermocouple Active Vacuum Gauge
• 1*10-3 Torr up to 20 Torr
• Compact and robust design
• Sensors easy to replace
MP4AR Convection Active Vacuum Gauge
• 1*10-3 Torr up to 20 Torr
• Compact and robust design
• Sensors easy to replace
• 5*10-11 토르에서 1*10-2 토르까지
• 공정 제어를 위한 세트 포인트 릴레이 및 오픈 커넥터
• 낮은 가스 배출로 이어지는 모든 금속 씰