Televac® MP7FR 액티브 UHV 게이지는 쉽게 교체할 수 있는 Televac® 7F 이중 역 마그네트론 냉음극 진공 센서를 사용합니다. 1*10-11 토르에서 1*10-2 토르에 이르는 광범위한 측정 범위, 프로그래밍 가능한 설정 포인트, 공장 출하 시 설정 가능한 아날로그 출력, LED 디스플레이 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치는 자기장이 있는 상태에서 가스를 이온화하여 절대 압력을 간접적으로 측정합니다. 고온 이온 센서와 달리 이 장치는 가스 유입에 강합니다. 센서 교체를 위해 쉽게 분해할 수 있도록 설계되었습니다.
| 운영 범위 | 1*10-11 토르 ~ 1*10-2 토르 |
| 통신 | N/A |
| 아날로그 출력 | 0 V ~ 10 V DC |
| 프로그래밍 가능한 집합 점 | 1 |
| 점 유형 설정 | 릴레이 |
| 공급 전압 | 24 V DC |
| 최대 전력 | 6 W |
| 교정 매체 | 건조한 공기 또는 질소 |
| 압 | 150 psi |
| 디지털 출력 해상도 | 지수가 있는 2개의 중요한 숫자 |
| 작동 온도 | 0°C ~ 50°C |
| 보관 온도 | -20°C ~ 60°C |
| 베이크아웃 온도 | 150 °C (전자 제품 제거) 400 °C (전자 및 자석 제거) |
| 판독 가능한 거리 표시 | 3m(10피트) |
| 정확도 | |
| 1*10-7 토르 ~ 1*10-2 토르 | ±0.2 년 |
| 아날로그 출력 | ±5mV |
| 열 처리 및 진공 용광로 | |
| 극저온 및 산업용 가스 | |
| 박막 증착 및 코팅 공정 | |
| 반도체 | |
| 동결 건조 및 식품 포장 | |
| 로드 잠금 | |
| 제약 제품 프로세스 |
