テレバック®7FCS 冷陰極ゲージ(真空圧力計 真空圧力計または コールドカソードイオン化ゲージは、10-11Torrから10-2Torrまでの非常に広い測定範囲を持っています(超高真空またはUHVソリューションとなります)。この真空計は、磁場の存在下でガスをイオン化することにより、間接的に絶対圧を測定します。ホットフィラメント真空ゲージとは異なり、7FC冷陰極ゲージはクリーニングが可能で、汚染に強く、ガスの突入によって簡単に損傷しません。他の冷陰極ゲージと異なり、このゲージにはクイックスタート機能があり、UHVで5秒以内にスタートできます。
The design of this vacuum gauge allows for bakeout without disassembly. The 7FCS cold cathode ionization gauge can be operated by the Televac® MX200, MX200 EthernetIP, MX200 PROFINET Vacuum Controller. All of these vacuum controllers will automatically operate the cold cathode to provide a full-range vacuum measurement solution when the 7FCS is used in conjunction with rough vacuum sensors like the 2A thermocouple vacuum gauge or 4A convection vacuum gauge.
7FCS冷陰極真空計
7FCS Triax/クイック・スタート・コンビネーション・ケーブル
スペアパーツ
| 動作範囲 | 1*10-11Torr から 1*10-2Torr への 1*10-11Torr |
| アナログ出力 | コントローラー依存 |
| アナログ出力分解能 | コントローラー依存 |
| 電源電圧 | コントローラー依存 |
| 取付方向 | 何れかの |
| 校正媒体 | 乾燥空気または窒素 |
| 過圧 | 150 PSI |
| 動作温度 | 0 °C~50 °C |
| 保存温度 | -20 °C ~ 70 °C |
| ベークアウト温度 | 200 °C |
| 応答時間 | ≤10 ms |
| 開始(休止)時間 | ≤5 s |
| 精度 | |
| 1*10-9~1*10-2Torr | ±0.2十年 |

| ステンレス鋼 |
| セラミック |
| 銅 |
| タングステン |
| ガラス |
| アルミニウム |
| 電気的接続 | SHV5 |
| 重量 | 944g(2.08ポンド) |
| RoHS対応 |
製品ドキュメント
| 7FCS 冷陰極データシート |
| Televac®真空校正公差 |
3Dモデル(STEPファイル)
| 2-2146-053 - 7FCS 冷陰極 CF40/2.75″ CF-F ステンレス鋼 |
| 2-2146-054 – 7FCS Cold Cathode CF25/2.125″ CF-F Stainless Steel |
アプリケーションノート
| Televac®アプリケーションノート 3004:7FCおよび7FCS冷陰極真空計のクリーニング |
| テレバック®アプリケーションノート 3015:真空校正の推奨事項 |
動画
| 7FC/7FCS冷陰極分解ビデオ |
ツール
| MX200オンライン・オーダー・ハブ |
| Vacuum Leak Rate Converter |
| 真空測定コンバーター |
| ウェブ・シリアルターミナル |
ケーススタディ
| ケーススタディアルゴンヌ国立研究所 |
記事
| 最新の冷陰極技術による真空測定 |
パンフレット
| Televac® Vacuum Measurement Product Catalog |
| CRT製造株式会社 |
| 光学・機能性フィルムの成膜 |
| 低蒸気圧蒸留 |
| 化学品 |
| 電子顕微鏡 |
| 凍結乾燥 |
| ヘリウムマススペックリークディテクタ |
| 高エネルギー物理学 |
| ランプ・照明・レーザー製品製造 |
| 質量分析計 |
| 冶金プロセス |
| ナイトビジョン・電気光学式検出器の製造・販売 |
| プラズマ強化蒸着 |
| 滅菌 |
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