Televac®MP7FRアクティブUHVゲージは、簡単に交換できるTelevac® 7Fダブルインバーテッドマグネトロン冷陰極真空センサを使用しています。1*10-11Torrから1*10-2 Torrまでの広い測定範囲、プログラム可能なセットポイント、工場設定可能なアナログ出力、LEDディスプレイなど、様々な機能を備えています。本器は、磁界の存在下でガスをイオン化することにより、間接的に絶対圧を測定するものです。ホットイオンセンサと異なり、ガスの流入に強いのが特徴です。また、センサの交換は容易に分解できる構造になっています。
| 動作範囲 | 1*10-11Torr から 1*10-2Torr への 1*10-11Torr |
| コミュニケーション | 該当なし |
| アナログ出力 | 0 V～10 V DC |
| プログラム可能なセットポイント | 1 |
| セットポイントタイプ | リレー |
| 電源電圧 | 24 V DC |
| 最大出力 | 6 W |
| 校正媒体 | 乾燥空気または窒素 |
| 過圧 | 150 psi |
| デジタル出力分解能 | 指数付き有効数字2桁 |
| 動作温度 | 0 °C～50 °C |
| 保存温度 | -20 °C ～ 60 °C |
| ベークアウト温度 | 150 °C (電子機器を取り外した状態) 400 °C (電子機器と磁石を取り外した状態) |
| 表示可読距離 | 3 m (10 ft) |
| 精度 | |
| 1*10-7Torr から 1*10-2Torr への 1*10-7Torr | ±0.2十年 |
| アナログ出力 | ±5 mV |
| 熱処理・真空炉 | |
| 低温・工業用ガス | |
| 薄膜の成膜・コーティング工程 | |
| 半導体 | |
| フリーズドライと食品包装 | |
| ロードロック | |
| 医薬品のプロセス |
