Part Numbers: 2-2100-31, 2-7990-101, 2-7990-131, 2-7990-152
特長と効果
- 1*10-2Torr から 1*10-10Torr への測定
- デュアルコーティングとサポートされたフィラメントが最大の寿命を実現
- Exceptionally low x-ray limit of < 1*10-10 Torr
- フィラメントのワンボタン電子選択
- CFタイプのシールと10-11標準cc/sのヘリウムリーク率により、信頼性の高い超高真空運転が可能です。
- シンプルなデザインは、最も困難なアプリケーションでの長年の生産的な使用に問題がないことを意味します。
- 200℃までベーク可能（センサーのみ
- 4桁LED
- 選択可能なエミッション電流
- 時間選択可能なデガス
- プロセス制御のためのデュアルTTLセットポイント
- RS-232/485デジタル通信
- 11.5 V～30 V DC制御インターフェース電源スイッチ
The Televac® MP3DR is a miniature Bayard-Alpert high-vacuum sensor and integral control electronics in a compact envelope. It is designed to be closely coupled to the user’s vacuum system and to provide a local pressure indication and/or digital interface to a computer control system. The MP3DR derives its performance strength from Televac®’s cutting-edge miniature Bayard-Alpert ionization sensor and user-friendly operation from its intuitive control and display interface.
| 測定範囲 | 1*10-2Torr から 1*10-10Torr への 1*10-2Torr |
| 窒素に対する感度 | 10/Torr |
| ドガパワードガパワー | 5 W電子ビーム |
| ベークアウト温度（センサーのみ | 200 °C |
| 動作温度 | 0 °C～40 °C |
| Ｘ線限界 | < 1*10-10 Torr |
| フィラメントエミッション電流 | 0.01 mA、0.1 mA、1.0 mAまたは自動 |
| フィラメントバイアス電位 | 30 V ± 0.3% |
| グリッドポテンシャル | 180 V ± 0.3% |
| フィラメント加熱電圧 | 1.5 V (2.5 V max.) |
| フィラメント加熱電流 | 2A (最大3A) |
| 取付方向 | 何れかの |
| 制御システム | |
| 電源入力 | 11.5 V～30 V DC @ 750 mA |
| 表示 | セグメント化された青緑色 |
| プロセス制御出力 | 各2つのTTL |
| デジタル通信 | RS-232/485 |
| 電源/信号コネクタ | 15ピンD-sub |
| デジタルポート | デュアル、6ピンモジュラー |
| 物理データ | |
| 高さ | 5.25” |
| 直径 | 3.00” |
| 重量 | 19.5オンス（KF25フランジ(KF25フランジ) |
| 動作環境 | |
| 場所 | 屋内 |
| 高度 | 2000mへ |
| 温度 | 0 °C～40 °C |
| 相対湿度 | 80% RH～31 °C |
| インストール | カテゴリーII |
| MP3DR ホットイオン | 部品番号 |
| KF25フランジ | 2-7990-131 |
| 2.75インチCFフランジ | 2-2100-31 |
| 1/8" NPT ステンレス鋼 | 2-7990-152 |
| 1"チューブレーション | 2-7990-101 |
