Part Numbers: 3200-8305-21, 3302-8305-01, 3302-8305-02, 3302-8305-05, 3302-8305-25, 3306-8305-01, 3306-8305-02, 3306-8305-05, 3306-8306-02, 3307-8305-45
호환 가능한 진공 컨트롤러:
- MKS 그랜빌 필립스 모델 260, 270, 280, 303, 306, 307, 330, 340, 350
- MKS Instruments 290, 919, 929
- 퍼킨 엘머 DGC3
- Varian 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971-0003, 971-0014, 971-1008, 멀티 게이지
- Veeco RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002
특징과 이점:
- 저비용 진공 게이지
- 연장된 진공 게이지 수명을 위한 탈기 및 이중 필라멘트
- 수명 연장을 위한 교체 필라멘트 어셈블리(RFA)
- 정확하고 신뢰할 수 있는 열음극 기술
- 오염 방지 진공 트랜스듀서
- 진공 트랜스듀서에 대한 탁월한 고객 지원
ETI 시리즈의 베이야드-알퍼트 이온 게이지 (일명 진공 게이지, 진공 트랜스듀서, BA 게이지, 핫 이온또는 핫 캐소드)에는 소손 방지 이트리아 또는 코팅된 이리듐 필라멘트 또는 진공 측정용 텅스텐 필라멘트 2개가 장착되어 있습니다. 이 진공 측정기는 10-10~10-3 토르의 넓은 측정 범위를 가지며 진공 측정기의 수명을 연장하고 고온 음극 오염을 청소하기 위해 가스를 배출할 수 있습니다. 이중 필라멘트 진공 게이지 설계를 통해 이 진공 트랜스듀서에서 첫 번째 필라멘트가 타거나 심하게 오염된 경우 두 번째 필라멘트를 사용할 수 있습니다. 필라멘트는 이 페이지 하단에서 찾을 수 있는 교체용 필라멘트 어셈블리(RFA)로 교체할 수도 있습니다.
깨끗하고 오래 지속되는 솔루션을 찾고 계십니까? 우리는 7FCS 콜드 음극 진공 게이지와같은 우리의 차가운 음극 기술을보는 것이 좋습니다. 이것은 오염에 덜 취약하고 진공 게이지가 오염될 때 더 쉽게 청소되는 냉음극 진공 트랜스듀서(뜨거운 음극 대신)를 사용하여 이온 게이지 압력 측정을 위한 다른 진공 게이지 기술입니다.
베이야드-알퍼트 이온 게이지
아래 표에서 자세한 내용을 보려면 오른쪽으로 스크롤합니다.
| 가격 | 구입 | PN TFC | Pn gp mks | 필 라 멘 트 | 코팅 | 플랜지 | 핀 구성 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| $601.00 | 3302-8305-21 | 274050 | 2 텅스텐 | 없음 | KF40 | 5 핀 | ||
| $642.00 | 3302-8305-01 | 274022 | 2 텅스텐 | 없음 | CF40 | 5 핀 | ||
| $616.00 | 3302-8305-02 | 없음 | 2 텅스텐 | 없음 | CF40 | 6 핀 | ||
| $642.00 | 3302-8305-05 | 274041 | 2 텅스텐 | 없음 | CF40 | 5 핀 | ||
| $628.00 | 3302-8305-25 | 274057 | 2 텅스텐 | 없음 | KF40 | 5 핀 | ||
| $642.00 | 3306-8305-01 | 274123 | 2 이리듐 | Yttria | CF40 | 5 핀 | ||
| $640.00 | 3306-8305-02 | 없음 | 2 이리듐 | Yttria | CF40 | 6 핀 | ||
| $667.00 | 3306-8305-05 | 274142 | 2 이리듐 | Yttria | CF40 | 5 핀 | ||
| $586.00 | 3306-8306-02 | 없음 | 2 이리듐 | Yttria | 플랜지 없음(1.5" 헤더) | 6 핀 | ||
| $632.00 | 3307-8305-45 | 274043 | 1 이리듐 | Yttria | CF40 | 6 핀 |
교체 필라멘트 어셈블리(RFA)
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| 가격 | 구입 | PN TFC | Pn gp mks | 필 라 멘 트 | 코팅 | 플랜지 | 핀 구성 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| $85.00 | 5-8325-02 | 274024 | 2 텅스텐 | 없음 | 없음 | 없음 | ||
| $172.00 | 5-8325-06 | 274125 | 2 이리듐 | Yttria | 없음 | 없음 | ||
| $121.00 | 5-8325-07 | 274129 | 1 이리듐 | Yttria | 없음 | 없음 |
6핀 듀얼 필라멘트 구성
| 핀 1 | 그리드 |
| 핀 2 | 그리드 |
| 핀 3 | 수집기 |
| 핀 4 | 필라멘트 #1 |
| 핀 5 | 공통 |
| 핀 6 | 필라멘트 #2 |
6핀 싱글 필라멘트 구성
| 핀 1 | 그리드 |
| 핀 2 | 그리드 |
| 핀 3 | 수집기 |
| 핀 4 | 필 라 멘 트 |
| 핀 5 | 필 라 멘 트 |
| 핀 6 | 사용 안 함 |
5핀 구성
| 핀 1 | 그리드 |
| 핀 2 | 수집기 |
| 핀 3 | 필라멘트 #1 |
| 핀 4 | 공통 |
| 핀 5 | 필라멘트 #2 |
| 연결 | 2-3/4", 1"콘플랫 또는 KF 40 플랜지 |
| 봉투 | 없음 |
| 장착 위치 | 수직 |
| 수집기 | .005" 텅스텐 |
| 필 라 멘 트 | 교체 가능한 코팅 이리듐 또는 듀얼 텅스텐(8130) |
| 그리드 | 타 와 Pt / 모 지원 다람쥐 케이지 |
| N2에 대한 감도 | 25/토르 |
| 엑스레이 제한 | 2*10-10 토르 |
| 작동 압력 | 2*10-11 ~ 1*10-3 토르 |
| 전자 폭격 드가 | 40 W @ 500 V |
| 저항 가열 드가 | n/a |
| 베이크아웃 온도 | 450°C |
제품 설명서
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