1. Zusammenfassung
Die Terminologie der Vakuummessung ist oft branchenspezifisch und/oder wird austauschbar verwendet. Dieses Dokument gibt einen Überblick über die verschiedenen Begriffe und wie sie sich zueinander verhalten.
2. Terminologie
1. Analogausgang, Schreiberausgang, 0 bis 10 V DC-Ausgang; alles austauschbare Begriffe für das Gleiche, einen dem Druck entsprechenden Spannungsausgang.
2. Niedervakuum, Grobvakuum, Grobvakuum, Hochdruck; austauschbare Begriffe für die gleiche Sache, je nachdem, mit wem man spricht, sind dies Drücke zwischen ~760 Torr und ~25 Torr, oder ~760 Torr und ~10-3 Torr. Letzteres wird auch als mittleres Vakuum definiert.
3. Hochvakuum, Niederdruck; austauschbare Begriffe für dieselbe Sache, typischerweise definiert als 10-3 Torr bis 10-9 Torr.
4. Ultrahochvakuum, UHV, sehr niedriger Druck; austauschbare Begriffe für dieselbe Sache, typischerweise definiert als 10-9 Torr bis 10-12 Torr.
5. Extrem hohes Vakuum, XHV, sehr niedriger Druck; austauschbare Begriffe für die gleiche Sache, typischerweise definiert als Drücke unter 10-12 Torr.
6. Mikron, Millitorr, mTorr; alle Begriffe für die gleiche Sache, gleich 10-3 oder 0,001 Torr.
7. SPS, oder speicherprogrammierbare Steuerung; das "Gehirn" Ihres Vakuumsystems, typischerweise von Rockwell Collins/Allen-Bradley oder Siemens geliefert, obwohl es mehrere andere Hersteller gibt.
8. HMI, oder Human-Machine-Interface; das Display für Ihr Vakuumsystem.
9. Messgerät, passives Messgerät, Sensor, Wandler, Röhre oder eine Kombination davon; alles austauschbare Begriffe für die gleiche Sache, der Klarheit halber bezeichnen wir diese gerne als "passive Vakuummessgeräte". Manchmal werden diese Begriffe auch verwendet, um ein passives Vakuummeter in Kombination mit Elektronik zu bezeichnen, was wir als "aktives Messgerät" bezeichnen. Dies ist eine wichtige Unterscheidung für bestimmte Anwendungen, insbesondere dort, wo Strahlung vorhanden ist (aktive Vakuummessgeräte werden in bestrahlten Umgebungen schnell degradieren).
10. Pirani, Konvektion, Konvektron, TC, Thermoelement; diese sind technisch gesehen alle unterschiedlich (außer TC und Thermoelement), aber sie werden oft austauschbar verwendet. Der allgemeine Begriff für alle diese Messgeräte ist "Wärmeleitfähigkeitsmessgerät".
11. CDG, kapazitives Membranmessgerät, kapazitives Manometer, Baratron; alles austauschbare Begriffe für dieselbe Sache. Baratron ist ein eingetragenes Warenzeichen von MKS Instruments, Inc.
12. Kaltkathode, CC, Kaltionisationsmessgerät, Ionisationsmessgerät, Ionenmessgerät, Penning; in der Regel alles austauschbare Begriffe für dieselbe Sache. Es gibt verschiedene Arten von Kaltkathoden, aber die meisten Hersteller und Anwender unterscheiden nicht zwischen ihnen.
13. Heißes Ion, heiße Ionisierung, heißes Filament, heiße Kathode, Bayard-Alpert, BAG (Bayard-Alpert Gauge); es gibt verschiedene Arten, aber diese sind typischerweise alle austauschbare Begriffe für dieselbe Sache.
14. Flansch, Fitting; diese Begriffe sind technisch unterschiedlich, werden aber austauschbar verwendet. Dies ist die Schnittstelle zwischen dem Anschluss an Ihrem Vakuumsystem und Ihrem Vakuummeter.
15. NW, KF, QF, DN, Kleinflansch, Schnellflansch oder eine Kombination davon mit einer zweistelligen Zahl; dies sind alles Bezeichnungen für den gleichen Flanschtyp. Falls es Sie interessiert: Die zweistellige Zahl gibt den Nenn-Innendurchmesser des Flansches in Millimetern an.
16. CF, conflat; austauschbare Namen für den gleichen Flanschtyp, diese werden typischerweise für UHV-Anwendungen verwendet.