テレバックMM200真空コントローラー

Televac®️ MM200 Vacuum Controller
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部品番号:2-7900-20

対応：1Eピエゾダイアフラム、 1Fピエゾダイアフラム、 2A熱電対、 3Fホットイオン、 4A対流、 7B冷陰極、 7E冷陰極、 7F冷陰極、 7FC冷陰極、 7FCS 冷陰極, CDG, セットポイントリレー

特長と効果

  • 顧客が設定可能な設計
  • ラック取付可能
  • 自己診断機能を内蔵
  • 見やすい大型LEDディスプレイ
  • 選択可能な測定単位（torr/ミクロン、パスカル、ミリバール
  • デジタルインターフェース
  • センサーごとに1つのアナログ出力
  • ISO 17025認定校正およびNISTトレーサブル校正（オプション
  • 優れたカスタマーサポート

Televac®MM200は、冷陰極センサ、対流式センサ、ダイアフラムセンサ、ホットイオンセンサ、熱電対センサなど、あらゆるTelevac®真空センサを制御します。また、最大8点のリレーセットポイントやRS-232/RS-485通信などのオプション機能も備えています。大型で明るいLEDディスプレイにより、遠くからでも読み取りが容易です。MM200はモジュール式ユニットで、お客様のニーズに合わせた真空検知ソリューションをお選びいただけます。

仕様



動作範囲1*10-11Torr から 7600 Torr の最高への 1*10-11Torr
コミュニケーションRS-232/RS-485
アナログ出力0～10V DC(1センサにつき1)
アナログ出力分解能12ビット
プログラム可能なセットポイントモジュールごとに4個（最大8個
セットポイントタイプリレー
電源電圧115/230 V AC（2/1 A）、50-60 Hz
最大出力230 W
校正媒体乾燥空気または窒素
動作温度0 °C～50 °C
保存温度-40 °C ～ 85 °C
表示可読距離10 m (35 ft)

製品番号

MM200バキュームコントローラ 部品番号
MM200ベースユニット 2-7900-20
クアッドリレーモジュール 2-6200-411
RS-232/485通信モジュール 2-6200-213
2Aデュアル熱電対モジュール 2-6200-486
4A デュアル対流モジュール 2-6200-215
7Bペニングマグネトロン冷陰極モジュール 2-6200-227
7FCS DIMクリーニング可能なCCクイックスタートモジュール 2-6200-285
1E デュアルピエゾダイアフラムモジュール 2-6200-220
1F デュアルピエゾダイアフラムモジュール 2-6200-244
キャパシタンスダイアフラムモジュール 2-6200-252
3F ミニベヤールアルパートホットイオンモジュール 2-6200-291
シミュレータ 部品番号
2Aオクタル、レッドライン 2-2100-237
2Aオクタル、3点：0、100、1000トール 2-2100-242
2Aミニ、レッドライン 2-2100-240
2Aミニ、3ポイント：0、100、1000Torr 2-2100-241
4A, レッドライン 2-2119-000
4A、3ポイント：0、1、760トル 2-2119-003
7B、2ポイント：10-3、10-5トール 2-2100-93
7E/7F/7FC/7FCS、2ポイント：10-3、10-5トル 2-2145-000
標準ケーブル
長さ 2Aケーブル 4Aケーブル 7Bケーブル
10 フィート (3 m) 2-9800-52 2-9819-010 2-9800-09
20フィート(6.1メートル) 2-9800-53 2-9819-020 2-9800-41
浬 2-9800-55 2-9819-035 2-9800-42
浬 2-9800-56 2-9819-050 2-9800-43
長さ ミニBAケーブル 7 E/F ケーブル
10 フィート (3 m) 2-9854-10 2-9841-010
20フィート(6.1メートル) 2-9854-20 2-9841-020
浬 2-9854-35 2-9841-035
浬 2-9854-50 2-9841-050

アプリケーション



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クライオジェニックス
ロードロック
半導体
熱処理・真空炉
薄膜の成膜・コーティング工程
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研究室
リーク検出
医薬品のプロセス