Televac Active Digital Vacuum Sensors and Gauges
Televac アクティブデジタル真空計
The Fredericks Company’s Televac® vacuum pressure measurement brand designs and manufactures active gauges (also called analog or digital gauges) that combine Televac®’s passive gauges (also called digital vacuum sensors) and controlling electronics into one compact unit for pressure measurement.
Our active gauges cover the entire practical vacuum range from 10-11 Torr to 1000 Torr and feature bright OLED displays and easy to use touch controls, in addition to RS-485 communications, allowing the user to adjust settings such as measurement units, set points, and calibration directly through the unit’s display or remotely through digital communications.
These active gauges are compact, easy to use, and cost effective solutions for a wide range of vacuum measurement applications, the most common being heat treat and vacuum furnaces, vacuum distillation, thin film deposition, and semiconductor manufacturing equipment.
Looking for full-range vacuum measurement and not sure where to start? Check out our MX4A active convection gauge and our MX7B active cold cathode gauge (also sometimes called a CC gauge), when used together these units provide a measurement range of 10-8 Torr to 1000 Torr. Click here to learn more!
アクティブ真空計とは？
用語はメーカーによって異なりますが、Televac®ではパッシブゲージとアクティブゲージを区別しています（用語リファレンスをご確認ください）。
A passive gauge (sometimes referred to as a digital vacuum sensor), such as our 2A thermocouple gauge or our 7B cold cathode gauge, needs controlling electronics to convert the electrical signal from the gauge into a vacuum measurement. This conversion can be done by a vacuum controller, which can control multiple gauges at a time, or by an active gauge, where the control electronics are integrated into an assembly which is directly attached to the passive gauge.
アクティブゲージは、次のように呼ばれることもあります。 デジタル真空計または アナログ真空計アナログの0～10V DC出力とともに、デジタル表示とデジタル通信を備えているからです。
アクティブゲージとバキュームコントローラ - なぜ私は他のものよりもどちらかを選択するのでしょうか？
真空コントローラソリューションとアクティブゲージソリューションの主な違いは、制御電子機器（およびディスプレイ）の配置、および複数のパッシブゲージからの測定値を同時に接続して表示する真空コントローラの能力です。
With a vacuum controller, the passive gauges are connected by cables to the vacuum controller, allowing separation of the control electronics and digital vacuum sensors by anywhere from 10 feet to 300 feet. This is particularly useful for environments where radiation is present (electronics are quickly and damaged by radiation), or in applications where measurements must be displayed remotely or in a different location from the digital vacuum sensors.
アクティブゲージは、いくつかのアプリケーション（制御盤のスペースが限られている真空炉など）で省スペース化の機会を提供します。また、アクティブゲージは、真空コントローラでは校正の際に不足することがある柔軟性を提供します。
- ケーブルを返却せずにNISTのトレーサブルな校正が可能（システムからケーブルを取り外す必要がないことを意味します
- 低 vac ゲージと高 vac ゲージが別々になっているため、異なる校正間隔でゲージを戻すことができます。
- これは、NADCAPおよびAMS規格に準拠しているエンドユーザーにとって特に有益な情報です。
- 較正のために戻るバキュームコントローラボックスがない
- キャリブレーションのダウンタイムとメンテナンスが少なく、大幅なコスト削減が可能
どのアクティブゲージを選べばいいのか、まだお困りですか？ここでは、アクティブゲージの詳細をいくつかご紹介します。
MX2A アクティブ熱電対デジタル真空計
MX2A アクティブ熱電対ゲージは、Televac®パッシブ 2A 熱電対ゲージ（ピラニゲージと呼ばれることもあります）を採用しています。このコンパクトなユニットは10-4 Torrから1000 Torrまでの測定が可能で、カラー有機ELディスプレイ、タッチコントロール、RS-485通信、真空測定に対応したアナログ0～10 V DC出力が標準装備されています。センサーの交換は、ネジを外す必要がなく、迅速かつ簡単に行えます。
MX4A アクティブ対流式デジタル真空計
MX4A アクティブ対流ゲージは、Televac®パッシブ 4A 対流ゲージ（ピラニゲージとも呼ばれる）を使用しており、10-4Torr から 1000 Torr までの範囲で±10% の精度で測定が可能です。この低価格でコンパクトなユニットは、カラー有機ELディスプレイ、タッチコントロール、RS-485通信、プログラム可能なセットポイント、測定値に対応したアナログ0～10V DC出力（アナログ真空計でもあります）を特徴としています。センサーの交換は、ネジを使わずに素早く簡単に行えます。
MX7B アクティブ冷陰極デジタル真空計
MX7B アクティブ冷陰極ゲージは、Televac®パッシブ 7B 冷陰極ゲージを採用しており、10-8Torr から 10-3 Torr の範囲で測定し、MX4A アクティブ対流ゲージと組み合わせることでフルレンジの真空測定が可能です。当社の特許取得済みのペニング冷陰極技術は、類似の競合技術と比較して優れた耐汚染性を提供します。他のMXシリーズアクティブゲージと同様に、MX7Bは読みやすい有機ELディスプレイ、タッチコントロール、RS-485とUSB通信、アナログ0～10V DC出力を装備しています（アナログ真空計でもあります）。7Bセンサーは、クリーニングや交換のために素早く簡単に取り外すことができます（ネジ1本のみ）ので、ゲージの寿命を延ばすことができます。
MX7M アクティブ冷陰極デジタル真空計
MX7M アクティブ冷陰極ゲージは、5*10-11から 1*10-2Torr の広い動作範囲を持つ Televac®7M 冷陰極イオン化ゲージを採用しています。これは、10-11Torrの範囲で測定する市場で唯一のクリーンな冷陰極です。新しいトリプル反転マグネトロン設計は、迷走磁場を大幅に減少させながら直線性を向上させることで、真空ゲージの全体的な精度を向上させています。
CC-10 アクティブワイドレンジデジタルおよびアナログ真空計
CC-10アクティブワイドレンジゲージは、デュアルセンサー技術を採用し、10-9 Torrから990 Torrまでのシームレスな測定を実現したワイドレンジアクティブゲージです。クリスタルセンサーは大気圧から10-3Torrまで測定し、特許取得済みの二重反転マグネトロン冷陰極ゲージは10-2から10-9Torrまでの測定に使用されています。CC-10は、使いやすいLEDディスプレイ付きのフロントパネルを採用しており、タッチコントロールやRS-485通信でオプションを設定することができます。また、セットポイントを内蔵しており、真空度に対応したアナログ0～10VのDC出力（アナログ真空計としても使用可能）を備えています。
MXアクティブゲージEthernetIPゲートウェイ
Ethernet/IP通信付きのデジタル真空計をお探しですか？新しいMXアクティブゲージEthernetIPゲートウェイは、最大4台のTelevac®MXアクティブゲージと1台のキャパシタンスダイアフラムゲージ(CDG)にEthernetIP通信と電源接続を提供します。すべてのMXアクティブゲージ機能はEthernetIP経由でアクセス可能で、校正やガスタイプの変更などをPLCやHMIに統合することができます。