目的
このアプリケーション・ノートでは、MX2AまたはMX4A粗真空アクティブ・ゲージのオープン・コレクタ・セット・ポイントを使用して、MP7ERまたはMP7FR冷陰極高真空アクティブ・ゲージのオン/オフを自動的に制御する方法を説明しています。
関連製品
本書は、以下のTelevac®製品に適用されます。
| 説明 | 部品番号 |
| エムエックスツーエー | 2-8910-1XX |
| エムエックスフォーエー | 2-8930-1XX |
| ＭＰ７ＥＲ | 2-7950-XXX |
| エムピーセブンエフアール | 2-7970-XXX |
| MX2A/MX4A 6芯ケーブル | 2-9857-XXX |
| MP7ER/MP7FR 9芯ケーブル | 2-9852-XXX |
背景
Televac® MX2AおよびMX4Aは粗真空測定（1*10-3Torr～1000 Torr）用の熱伝導率アクティブゲージで、Televac® MP7ERおよびMP7FRは高真空測定（1*10-11/1*10-8 Torr～1*10-2Torr）用の冷陰極アクティブゲージです。
冷陰極の設計上、1*10-2Torr以上の圧力でオンにしないことが重要です。これはスパッタリングの防止に役立つだけでなく、冷陰極をより高い圧力でオンにしたときに発生する酸化や汚染を防ぎ、不正確な測定値やゲージの損傷の原因となります。
冷陰極は1*10-2Torr以上では読み取れないため、MX2Aや MX4Aのような大まかな真空計を使用して、1*10-2Torrで冷陰極のオン/オフを切り替える必要があります。
MX2AとMX4Aにはオープンコレクタのセットポイントがあり、これは基本的に特定の真空測定値に設定できるスイッチです。この場合、セットポイントは1*10-2 Torrに設定されています。このセットポイント・スイッチは、MP7ERまたはMP7FRの冷陰極ターンオン/オフ制御ピンに直接配線することができ、1*10-11/1*10-8 Torrから1000 Torrまで測定可能なスタンドアロン・アクティブ真空計システムを作ることができます。
MX2A/MX4Aセットポイント1（オープンコレクタ）の設定
MX2A/MX4Aのセットポイント1オープンコレクタには2つの設定があります。
1.SP1H (セットポイント 1 高) - セットポイントが無効になる真空度測定値
2.SP1L (セットポイント 1 ロー) - セットポイントがアクティブになる真空度測定値
MP7ER/MP7FR の制御にセットポイントを使用する場合は、SP1H、SP1L の設定を推奨します。
1.SP1H - 0.012 Torr (12 mTorr、12ミクロン、1.2*10-2Torrに相当)
2.SP1L - 0.010 Torr (10 mTorr、10ミクロン、1.0*10-2Torrに相当)
これらは推奨事項であり、お使いのシステムでは異なる設定が必要な場合があります。
SP1H と SP1L の設定を変更するには、以下の手順に従います。
1.測定画面からSELキーを2回押します。
2.画面には、"Setpoints SP1L .XXX"が表示されます（.XXX は現在の設定です）。
3.ENTキーを押すと、画面中央上部に「ADJ」と表示されます。
4.上下の矢印を使用して、「.010」と表示されるまで値を調整します。
5.ENTキーを押すと、画面上部の「ADJ」が消えます。
6.下向き矢印を押すと、画面に「セットポイント SP1H .XXX」が表示されます（ここで .XXX は現在の設定です）。
7.ENTキーを押すと、画面中央上部に再び「ADJ」と表示されます。
8.上下の矢印を使用して、「.012」と表示されるまで値を調整します。
9.ENTキーを押すと、画面上部の「ADJ」が消えます。
10.SEL を 3 回押して測定画面に戻る（またはタイムアウトを待つ）。
The SP1H and SP1L settings can also be changed via RS-485 communications using the W2 command. The command to change the SP1H and SP1L settings to the values recommended above is the following (where X is the address of the unit, default is 0, and <cr> is a carriage return which is equivalent to pressing the enter key on your keyboard):
1. *XW210021202<cr>
MX2A/MX4AとMP7ER/MP7FRの接続
この説明では、Televac® MX2A/MX4Aケーブル PN 2-9857-XXX、およびTelevac®MP7ER/MP7FRケーブル PN 2-9852-XXXの使用を前提としています。セクション3で説明したMX2A/MX4Aのセットアップが完了したら、下表の接続を行います。このセットアップでは、両方のユニットに電源を供給し、MX2A/MX4Aセットポイント1のソース接続を接地し、MX2A/MX4Aセットポイント1のオープンドレインをMP7ER/MP7FRの冷陰極ターンオン/オフ制御ピンに接続します。
システムがポンプダウンして1.0*10-2Torrに達すると、MX2A/MX4Aのセットポイント1が切り替わり、MP7ER/MP7FRの冷陰極ターンオン/オフ制御ピンをグランドに接続してオンになります。逆に、システムのベントやリークアップで1.2*10-2Torrになると、コントロールピンがグランドから切り離され、冷陰極をオフにします。
注意してください。
1.図に示す配線は、互いに直接接続する必要はなく、例えば、電子キャビネットの端子台を介して配線することができます。
2.例えば、アナログ 0～10V DC 出力ワイヤを PLC のアナログ入力に接続したり、RS-485 ワイヤを PLC に接続する必要がある場合があります。
| MX2A/MX4A | MP7ER/MP7FR | 説明 |
| ピン 5 (緑) | ピン1（茶色 | セットポイント1は冷陰極ターンオン/オフ制御ピンに接続します。 |
| ピン12（黒 | 説明を参照してください。 | 電源(-)グランドに接続し、任意の方法で接続します。 |
| ピン 8 (赤) | ピン 4 (黄) | 電源 (+) 24 V DC、これらは独立して接続することができます。 |
| ピン15（黒 | ピン 2 (赤) | 電源(-)グランド、これらは独立して接続することができます |
その他の考慮事項
この説明書では、MX2A/MX4Aを使用してMP7ER/MP7FRのコールドカソードコントロールピンを自動的に切り替える方法を説明しています。お客様のユニークな真空システムには、以下のような他にも様々な方法があります。
1.MX2A/MX4A の設定点 2 リレーを使用して、MP7ER/MP7FR の冷陰極制御端子を切り換える。
2.2. MX2A/MX4Aのアナログ出力をPLC(または他の制御システム)から監視し、アナログ出力を真空度に変換し、PLCを使用してMP7ER/MP7FRの冷陰極制御ピンを1*10-2Torr(10ミクロン)で直接切り替える。
3.オプション2と似ていますが、RS-485通信を使用してMX2A/MX4Aの真空度測定値を監視します。
