Televac AN 3022: MP7ER/MP7FRをMX2A/MX4Aで自動制御


The application note explains how the open collector set point of an MX2A or MX4A rough vacuum active gauge can be used to automatically control the turn on/off of an MP7ER or MP7FR cold cathode high vacuum active gauge.

Relevant Televac Products

This document applies to the Televac® products listed

説明 部品番号
エムエックスツーエー 2-8910-1XX
エムエックスフォーエー 2-8930-1XX
MP7ER 2-7950-XXX
エムピーセブンエフアール 2-7970-XXX
MX2A/MX4A 6芯ケーブル 2-9857-XXX
MP7ER/MP7FR 9芯ケーブル 2-9852-XXX


The Televac® MX2A and MX4A are thermal conductivity active gauges for rough vacuum measurement (1*10-3 Torr to 1000 Torr) and the Televac® MP7ER and MP7FR are cold cathode active gauges for high vacuum measurement (1*10-11/1*10-8 Torr to 1*10-2 Torr).


Because the cold cathode can’t read above 1*10-2 Torr, a rough vacuum gauge such as the MX2A or MX4A must be used to switch the cold cathode on/off at 1*10-2 Torr.

The MX2A and MX4A both include an open collector set point, which is essentially a switch that can be set to a specific vacuum reading. In this case, our set point is set to 1*10-2 Torr. This set point switch can be wired directly to the cold cathode turn on/off control pin of the MP7ER or MP7FR, creating a standalone active vacuum gauge system capable of measuring from 1*10-11/1*10-8 Torr to 1000 Torr.

Setting up the MX2A/MX4A Set Point 1 (Open Collector)


1.SP1H (セットポイント 1 高) - セットポイントが無効になる真空度測定値
2.SP1L (セットポイント 1 ロー) - セットポイントがアクティブになる真空度測定値

MP7ER/MP7FR の制御にセットポイントを使用する場合は、SP1H、SP1L の設定を推奨します。

1.SP1H - 0.012 Torr (12 mTorr、12ミクロン、1.2*10-2Torrに相当)
2.SP1L - 0.010 Torr (10 mTorr、10ミクロン、1.0*10-2Torrに相当)

SP1H と SP1L の設定を変更するには、以下の手順に従います。

2.画面には、"Setpoints SP1L .XXX"が表示されます(.XXX は現在の設定です)。
6.下向き矢印を押すと、画面に「セットポイント SP1H .XXX」が表示されます(ここで .XXX は現在の設定です)。
10.SEL を 3 回押して測定画面に戻る(またはタイムアウトを待つ)。

The SP1H and SP1L settings can also be changed via RS-485 communications using the W2 command. The command to change the SP1H and SP1L settings to the values recommended above is the following (where X is the address of the unit, default is 0, and <cr> is a carriage return which is equivalent to pressing the enter key on your keyboard):

1. *XW210021202<cr>

Connecting the MX2A/MX4A and MP7ER/MP7FR

These instructions assume the use of Televac® MX2A/MX4A cables PN 2-9857-XXX and the Televac® MP7ER/MP7FR cables PN 2-9852-XXX. Once you’ve completed the MX2A/MX4A setup described in Section 3, make the connections listed in the table below. What this setup will do is supply power to both units, ground the source connection of the MX2A/MX4A set point 1, and connect the open drain of the MX2A/MX4A set point 1 to the cold cathode turn on/off control pin of the MP7ER/MP7FR.



2.例えば、アナログ 0~10V DC 出力ワイヤを PLC のアナログ入力に接続したり、RS-485 ワイヤを PLC に接続する必要がある場合があります。

ピン 5 (緑) ピン1(茶色 セットポイント1は冷陰極ターンオン/オフ制御ピンに接続します。
ピン12(黒 説明を参照してください。 電源(-)グランドに接続し、任意の方法で接続します。
ピン 8 (赤) ピン 4 (黄) 電源 (+) 24 V DC、これらは独立して接続することができます。
ピン15(黒 ピン 2 (赤) 電源(-)グランド、これらは独立して接続することができます

Additional Considerations


1.MX2A/MX4A の設定点 2 リレーを使用して、MP7ER/MP7FR の冷陰極制御端子を切り換える。
2.2. MX2A/MX4Aのアナログ出力をPLC(または他の制御システム)から監視し、アナログ出力を真空度に変換し、PLCを使用してMP7ER/MP7FRの冷陰極制御ピンを1*10-2Torr(10ミクロン)で直接切り替える。




- 1000 Torr までの 1*10-4Torr
- 読みやすいカラー有機ELディスプレイ
- センサーの交換が容易

MX4A Convection Active Digital Vacuum Gauge(コンベクションアクティブデジタル真空計


- 1*10-4Torr〜1000Torr
- センサーの交換が容易
- 耐汚染性

MP7ER アクティブ冷陰極真空計

MP7ER Cold Cathode Active Gauge

• 1*10-8 Torr to 1*10-2 Torr
• Cleanable sensor for extended use
• Minimal stray magnetic field

MP7ER アクティブ冷陰極真空計

MP7FR Cold Cathode Active Gauge

• 1*10-11 Torr to 1*10-2 Torr
• Compact and robust design
• Minimal stray magnetic field