テレバック AN 30027Bおよび7E冷陰極パッシブゲージのクリーニング

説明

本アプリケーションノートでは、Televac®7B冷陰極真空計および7E冷陰極真空計の洗浄工程について説明します。

指示

1.真空チャンバーからセンサーを取り出す。

2.キャップのねじを外し、陽極アセンブリを露出させます(取り外すには、キャップを反時計回りに回転させます)。

3.アノードアセンブリをゆっくりと上に持ち上げて、本体から分離します。

4.Oリングシートに傷をつけないように注意しながら、ボディからOリングを取り外します。リントフリーのティッシュでOリングを拭き取り、破損がないことを確認します。Oリングは丸く、平らでないことが大切です。

5.ガラス製フィードスルーを傷つけないように注意しながら、70~140メッシュのガラスビーズ研磨剤を使用し、30psiで陽極アセンブリ全体をブラストします。(ガラスビーズに虹の効果が見られる場合は、フィードスルーに亀裂がある可能性があり、陽極アセンブリを交換する必要があります7BはPN 2-6200-37、7EはPN 2-7900-51)。

6.ポールピースとOリングの部分を中心に、ガラスビーズでボディをブラストします。残りの内部パーツを洗浄します。チューブのねじ込み端の清掃が必要な場合は、同様にビーズブラストで清掃します。

7.洗浄後、乾いた空気で残留するガラスビーズやほこりを吹き飛ばします。ポールピース部分から金属片が取り除かれていることを確認してください。

8.OリングにアピエゾンLまたはMグリース(真空用グリース)を塗布します。Oリングがピカピカになるように、過剰にグリースを塗布しないでください。

9.O」リングを本体に取り付ける。

10.O "リングを取り付けた後、アノードアセンブリをボディに取り付けます。キー溝の位置を確認してください。

11.キャップをねじ込み、手で締めます。

12.真空チャンバーに再装着する。

13.高真空にポンプダウンするとチューブが脱気されるため、数時間放置してください。

14.正しく洗浄し、組み立てれば、NISTトレーサブルな校正が必要な場合を除き、再校正なしでゲージ管を使用する準備が整います。
トレーサブルな校正が必要な場合を除き、再校正なしで使用できる。

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