Jauges à vide passif à ions chauds ETI

Notre marque ETI propose différents types de technologie du vide, notamment des jauges à ions chauds en verre et en nu (également appelées jauges à filament chaud, Bayard-Alpert, BA ou BAG ou capteurs de vide) pour la mesure du vide poussé de 10-10 Torr à 10-3 Torr à l'aide de filaments de tungstène. Cette technologie du vide est populaire dans l'industrie des semi-conducteurs pour la plus grande précision qu'elle offre par rapport à la technologie du vide à cathode froide. Si les jauges à ions chauds offrent une meilleure précision que les jauges à cathode froide, les jauges à ions chauds sont également plus chères, ne peuvent pas être nettoyées et sont plus sensibles à la contamination, de sorte qu'elles ne durent pas aussi longtemps.