Televac AN 3022 : Contrôle automatique d'un MP7ER/MP7FR avec un MX2A/MX4A

Purpose

The application note explains how the open collector set point of an MX2A or MX4A rough vacuum active gauge can be used to automatically control the turn on/off of an MP7ER or MP7FR cold cathode high vacuum active gauge.

Relevant Televac Products

This document applies to the Televac® products listed

Description Numéro de pièce
MX2A 2-8910-1XX
MX4A 2-8930-1XX
MP7ER 2-7950-XXX
MP7FR 2-7970-XXX
Câble à 6 conducteurs MX2A/MX4A 2-9857-XXX
MP7ER/MP7FR 9 Câble conducteur 2-9852-XXX

Contexte

The Televac® MX2A and MX4A are thermal conductivity active gauges for rough vacuum measurement (1*10-3 Torr to 1000 Torr) and the Televac® MP7ER and MP7FR are cold cathode active gauges for high vacuum measurement (1*10-11/1*10-8 Torr to 1*10-2 Torr).

En raison de la conception des cathodes froides, il est important qu'elles ne soient pas activées à des pressions supérieures à 1*10-2 Torr. Cela permet d'éviter la pulvérisation, ainsi que l'oxydation et la contamination qui se produisent lorsque la cathode froide est activée à des pressions plus élevées, et qui entraînent des lectures inexactes et des dommages à la jauge.

Because the cold cathode can’t read above 1*10-2 Torr, a rough vacuum gauge such as the MX2A or MX4A must be used to switch the cold cathode on/off at 1*10-2 Torr.

The MX2A and MX4A both include an open collector set point, which is essentially a switch that can be set to a specific vacuum reading. In this case, our set point is set to 1*10-2 Torr. This set point switch can be wired directly to the cold cathode turn on/off control pin of the MP7ER or MP7FR, creating a standalone active vacuum gauge system capable of measuring from 1*10-11/1*10-8 Torr to 1000 Torr.

Setting up the MX2A/MX4A Set Point 1 (Open Collector)

Le collecteur ouvert MX2A/MX4A à point de consigne 1 a deux réglages :

1. SP1H (point de consigne 1 haut) - la lecture du vide où le point de consigne se désactive
2. SP1L (point de consigne 1 bas) - la lecture du vide où le point de consigne s'active

Nous recommandons les réglages suivants pour SP1H et SP1L lorsque le point de consigne est utilisé pour contrôler un MP7ER/MP7FR :

1. SP1H - 0,012 Torr (équivalent à 12 mTorr, 12 microns, et 1,2*10-2 Torr)
2. SP1L - 0,010 Torr (équivalent à 10 mTorr, 10 microns, et 1,0*10-2 Torr)

Notez qu'il s'agit de recommandations, votre système peut nécessiter des réglages différents.
Pour modifier les paramètres SP1H et SP1L, suivez les étapes suivantes :

1. A partir de l'écran de mesure, appuyez deux fois sur la touche SEL
2. L'écran affiche alors "Setpoints SP1L .XXX" (où .XXX est le réglage actuel)
3. Appuyez sur la touche ENT, le centre supérieur de l'écran affichera alors "ADJ".
4. Utilisez les flèches vers le haut et vers le bas pour ajuster la valeur jusqu'à ce qu'elle soit de ".010".
5. Appuyez sur la touche ENT, la mention "ADJ" en haut de l'écran disparaîtra alors
6. Appuyez sur la flèche vers le bas, l'écran affichera alors "Setpoints SP1H .XXX" (où .XXX est le réglage actuel)
7. Appuyez sur la touche ENT, le centre supérieur de l'écran affichera à nouveau "ADJ".
8. Utilisez les flèches vers le haut et vers le bas pour ajuster la valeur jusqu'à ce qu'elle s'affiche ".012".
9. Appuyez sur la touche ENT, la mention "ADJ" en haut de l'écran disparaîtra alors
10. Appuyez trois fois sur SEL pour revenir à l'écran de mesure (ou attendez le délai d'attente)

The SP1H and SP1L settings can also be changed via RS-485 communications using the W2 command. The command to change the SP1H and SP1L settings to the values recommended above is the following (where X is the address of the unit, default is 0, and <cr> is a carriage return which is equivalent to pressing the enter key on your keyboard):

1. *XW210021202<cr>

Connecting the MX2A/MX4A and MP7ER/MP7FR

These instructions assume the use of Televac® MX2A/MX4A cables PN 2-9857-XXX and the Televac® MP7ER/MP7FR cables PN 2-9852-XXX. Once you’ve completed the MX2A/MX4A setup described in Section 3, make the connections listed in the table below. What this setup will do is supply power to both units, ground the source connection of the MX2A/MX4A set point 1, and connect the open drain of the MX2A/MX4A set point 1 to the cold cathode turn on/off control pin of the MP7ER/MP7FR.

Lorsque le système est pompé et atteint 1,0*10-2 Torr, le point de consigne 1 du MX2A/MX4A s'enclenche, connectant la broche de commande de mise en marche/arrêt de la cathode froide du MP7ER/MP7FR à la terre et l'enclenchant. Inversement, lorsque le système est ventilé ou fuit et atteint 1,2*10-2 Torr, la broche de commande sera déconnectée de la terre, ce qui éteindra la cathode froide.

Notes :

1. Les fils indiqués dans le schéma n'ont pas besoin d'être directement reliés entre eux ; par exemple, ils peuvent être câblés par un bloc de bornes dans une armoire électronique.
2. Des connexions supplémentaires peuvent être nécessaires à votre système ; par exemple, les fils de sortie analogique 0 à 10 V DC peuvent devoir être connectés à l'entrée analogique de votre PLC, ou les fils RS-485 peuvent devoir être connectés à votre PLC.

MX2A/MX4A MP7ER/MP7FR Description
Pin 5 (vert) Broche 1 (marron) Point de consigne 1 connexion à la cathode froide broche de commande marche/arrêt
Pin 12 (noir) Voir la description Connectez à la terre de l'alimentation (-), connectez de n'importe quelle manière
Broche 8 (rouge) Broche 4 (jaune) Alimentation électrique (+) 24 V DC, ceux-ci peuvent être connectés indépendamment
Pin 15 (noir) Pin 2 (rouge) Alimentation électrique (-) mise à la terre, ceux-ci peuvent être connectés indépendamment

Additional Considerations

Ces instructions décrivent une façon dont le MX2A/MX4A peut être utilisé pour commuter automatiquement la broche de commande de la cathode froide d'un MP7ER/MP7FR. Il existe plusieurs autres façons qui pourraient être plus adaptées à votre système de vide unique, notamment les suivantes :

1. Utiliser le relais du point de consigne 2 du MX2A/MX4A pour commuter la broche de commande de la cathode froide du MP7ER/MP7FR.
2. Surveillance de la sortie analogique du MX2A/MX4A à partir d'un PLC (ou autre système de contrôle), conversion de la sortie analogique en une lecture de vide, et utilisation du PLC pour commuter directement la broche de contrôle de la cathode froide du MP7ER/MP7FR à 1*10-2 Torr (10 microns).
3. Similaire à l'option 2, mais en surveillant la lecture du vide du MX2A/MX4A à l'aide de communications RS-485.

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